浸润式DUV光刻机之父:中国现有光刻机可制5nm工艺
讲清楚点儿,光刻这条路其实分两拨:一拨想把光的波长弄得更短,像当年有人看好157nm;另一拨不是换光源,而是改变光在介质里的传播状态,让它“看起来”更短,浸润式DUV就是后者。后来又冒出个极紫外EUV,用13.5nm的光源一次成像,理论上省事多了,但设备贵得吓
讲清楚点儿,光刻这条路其实分两拨:一拨想把光的波长弄得更短,像当年有人看好157nm;另一拨不是换光源,而是改变光在介质里的传播状态,让它“看起来”更短,浸润式DUV就是后者。后来又冒出个极紫外EUV,用13.5nm的光源一次成像,理论上省事多了,但设备贵得吓
42%的中国订单明年说没就没,ASML的CEO把财报翻得哗哗响,也找不到能替中国补窟窿的第二个市场,于是荷兰政府一纸令下:DUV也不给卖。
芯片就是现代生活的命根子,从手机到汽车,从高铁到卫星,没它寸步难行。可偏偏在高端光刻机上,美国带头拉着荷兰的ASML卡我们脖子。荷兰资深分析师直言,中国要想在深紫外DUV光刻机上勉强跟上ASML的步伐,至少得花五年时间。